電力新聞電力　　中電新聞網(wǎng)訊通訊員李敏報道近日，南網(wǎng)科研院在特高壓工程技術(shù)（昆明）國家工程實驗室成功測試了自主研發(fā)的芯片級直流電場小微傳感器（簡稱MEMS 傳感器）。這是國際上首次將微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)應用于直流輸電電場測量，可廣泛應用于電力行業(yè)的設(shè)備精細化設(shè)計、在線監(jiān)測、電磁環(huán)境評估，以及氣象部門的雷電觀測預警、電動汽車駕駛艙電場檢測、航空器等升空后大氣環(huán)境電場監(jiān)測等領(lǐng)域

　　中電新聞網(wǎng)訊通訊員李敏報道近日，南網(wǎng)科研院在特高壓工程技術(shù)（昆明）國家工程實驗室成功測試了自主研發(fā)的芯片級直流電場小微傳感器（簡稱MEMS 傳感器）。這是國際上首次將微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)應用于直流輸電電場測量，可廣泛應用于電力行業(yè)的設(shè)備精細化設(shè)計、在線監(jiān)測、電磁環(huán)境評估，以及氣象部門的雷電觀測預警、電動汽車駕駛艙電場檢測、航空器等升空后大氣環(huán)境電場監(jiān)測等領(lǐng)域

2017-08-25 00:00:00 · 中電新聞網(wǎng) 閱讀：361

　　與傳統(tǒng)的場磨型傳感器相比，MEMS傳感器尺寸小，重量輕，僅為場磨型傳感器的1‰，功耗低，僅有3毫瓦，同時由于體積小可減少畸變，大大提高測試精度。該小微傳感器是南網(wǎng)科研院依托基礎(chǔ)性課題《基于MEMS（Micro- Electro C Mechanical -Systems）和無線供能技術(shù)的集成直流合成電場傳感技術(shù)研究》于近期成功研制出的樣片。該樣片通過將靜電梳齒驅(qū)動和單層側(cè)壁式感應電極結(jié)構(gòu)刻蝕在300微米厚的二氧化硅晶圓上，形成5毫米*4毫米*0.3毫米的傳感器芯片，以此為核心與外圍電路共同封裝研制構(gòu)成傳感器樣機。

　　南網(wǎng)科研院首次探索研發(fā)的這個芯片級小微傳感器，也是國內(nèi)外首次將MEMS技術(shù)應用于直流輸電電場測量，可廣泛應用于電力行業(yè)的設(shè)備精細化設(shè)計、在線監(jiān)測、電磁環(huán)境評估，以及氣象部門的雷電觀測預警、電動汽車駕駛艙電場檢測、航空器等升空后大氣環(huán)境電場監(jiān)測等領(lǐng)域，解決了傳統(tǒng)測量裝置精度低、可靠性差、不適用于狹窄空間測量等問題，市場前景廣闊，應用價值巨大。

聲明：本文內(nèi)容來源自網(wǎng)絡(luò)，文字、圖片等素材版權(quán)屬于原作者，橙電平臺轉(zhuǎn)載素材出于傳遞更多信息，文章內(nèi)容僅供參考與學習，切勿作為商業(yè)目的使用。如果侵害了您的合法權(quán)益，請您及時與我們聯(lián)系(2430586914@qq.com)，我們會在第一時間進行處理！我們尊重版權(quán)，也致力于保護版權(quán)，橙電平臺感謝您的分享！