電力新聞儀表儀器近日，HORIBA公司宣布推出新的模塊化橢偏儀――Uvisel Plus，旨在提高薄膜測量的靈活性。該設(shè)備配備了尖端的FastAcq采集技術(shù)，利用新的電子數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，可以在三分鐘內(nèi)完成190到2100nm范圍內(nèi)的樣品高分辨率測量

近日，HORIBA公司宣布推出新的模塊化橢偏儀――Uvisel Plus，旨在提高薄膜測量的靈活性。該設(shè)備配備了尖端的FastAcq采集技術(shù)，利用新的電子數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，可以在三分鐘內(nèi)完成190到2100nm范圍內(nèi)的樣品高分辨率測量

2017-07-19 09:41:00 · 風(fēng)電網(wǎng) 閱讀：897

近日，HORIBA公司宣布推出新的模塊化橢偏儀――Uvisel Plus，旨在提高薄膜測量的靈活性。

該設(shè)備配備了尖端的FastAcq采集技術(shù)，利用新的電子數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，可以在三分鐘內(nèi)完成190到2100nm范圍內(nèi)的樣品高分辨率測量。

該設(shè)計的另一個關(guān)鍵因素是其在光路中不包含旋轉(zhuǎn)元件或附加組件，為精確的橢偏參數(shù)測量提供最純凈和高效的偏振調(diào)制。

Uvisel Plus為圖案樣本的微孔提供低至50μm，可變角度從40°到90°的自動水平繪圖階段和附件，以滿足各種應(yīng)用和預(yù)算需求。

該公司表示：“Uvisel Plus及FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示器、微電子和光伏領(lǐng)域薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)測量中最多功能的光譜橢偏儀?！?/p>

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